张文栋，博士, 教授、博士生导师。国防973纳机电项目首席科学家，国家杰出青年基金、全国百篇优秀博士学位论文获得者，全国“百千万人才计划”首批入选者。 

张记龙，教授，博士生导师，享受政府特殊津贴专家。主要从事光电信息处理、光电仪器与系统等领域的教学与科学研究。主持并参与20余项课题，荣获国家科技进步三等奖、山西省科学技术奖技术发明一等奖、山西省科技进步二等奖等。获得国家发明专利6项，发表学术论文60余篇，SCI、EI收录14篇，著作1部。2007年被评为山西省高等学校中青年拔尖创新人才、2009年入选“新世纪百千万人才工程”国家级人选，荣获山西省五一劳动奖章等。

    熊继军，博士，教授，博士生导师，第十二届全国人大代表，民进山西省委常委。2003年毕业于清华大学精密仪器专业获工学博士学位，美国明尼苏达大学和香港城市大学访问学者。先后入选科技部中青年科技创新领军人才、教育部新世纪优秀人才、三晋学者、山西省青年科学家和高等学校中青年拔尖创新人才，国务院特殊津贴和全国五一劳动奖章获得者，新世纪百千万人才工程入选者。兼任中国微米纳米学会理事、仪器仪表学会微纳系统分会常务理事、中国高等教育学会仪器科学与测控技术专业委员会理事。

刘俊，博士, 教授、博士生导师。“新世纪学术技术带头人333人才工程”省级人选，“新世纪百千万人才工程国家级人选”，全国五一劳动奖奖章获得者，主要从事动态测试技术、微纳机电系统和微惯性技术等方面的研究与教学工作，获国家技术发明奖2项，省部级奖10项，发明专利7项。

刘亚青，教授，博士生导师。美国ROCHESTER大学、山东大学博士后。系山西省高等学校青年学术带头人、山西省青年科研专家、山西省委联系的高级专家、中国工业和信息化专家、山西省青联委员、中国产学研合作促进会新材料专业委员会常务理事、新世纪学术技术带头人333人才工程省级人选、教育部新世纪优秀人才、新世纪百千万人才工程国家级人选。

谭迎新，博士，教授，博士生导师。2004年入选国家首批“百千万人才工程”，享受国务院政府特殊津贴专家，中央组织部在山西省直接联系的专家。曾获山西省五一劳动奖章、山西省第六届“十大女杰”、山西省三八红旗手、山西省模范教师等多种荣誉称号。获国家发明三等奖、第七届中国青年科技奖、山西省科技奉献特等奖及省部级奖多项。

 李永红，博士，教授，国务院特殊津贴专家,国家人事部、科技部、教育部等七部委联合确定的“新世纪百千万人才工程国家级人选”，中共中央直接联系的高级专家。

    薛晨阳，博士，教授，博士生导师。2003年在希腊雅典国立科技大学物理系，获得半导体材料专业博士学位。先后被评为山西省青年学科带头人，教育部世纪优秀人才，山西省高等学校中青年拔尖创新人才、三晋学者特聘教授、“新世纪百千万人才工程国家级人选”。长期从事新型微米纳米器件、微纳测试技术以及固体光谱学与微光学气体传感器等方面的研究工作。

王强，男，中共党员，博士，教授，博士生导师。先后入选教育部新世纪优秀人才、山西省学术技术带头人、山西省高校优秀青年学术带头人、山西省青年三晋学者、全国模范教师、“新世纪百千万人才工程国家级人选”。

沈兴全，男，中共党员，博士，教授，博士生导师，现任中北大学校党委书记。先后入选山西省新兴产业领军人才、山西省学术技术带头人、“新世纪百千万人才工程国家级人选”、国务院政府特殊津贴专家等。

赵宇宏，女，中共党员，博士，教授，博士生导师，科技部中青年科技创新领军人才，全国优秀教师，山西省青年三晋学者，山西省高校中青年拔尖创新人才，山西省新兴产业领军人才，山西省学术技术带头人。